1 検出器単体でのチェック項目

• 製作方法チェック
• サポート振動試験(マスダミーを用いる)
• 波長感度特性(検出素子抵抗が測れない場合、これだけを参照して加圧)
• 感度測定
• 検出器ノイズ(NEP)