2.1 チップボンダー

• 5μm精度を達成するZ軸クロスローラー
  • ピックアップツールに持たせ、誤差測定の上で再現性を保証するか？
  • X-Yステージ上に、Z軸可動ステージを設置するか？
• 絶対位置参照マーク
• キャビティ板積み上げ治具の固定方法